在工业硅和硅铁生产中用布袋除尘器从电炉烟气中收得的烟尘一般称为微硅粉，其粒度极细，成分以氧化硅为主，密度小，比电阻大，粘结性强，附着力大，不易沉降。随着工业硅和硅铁产量的增加，微硅粉的生成量也越来越大，据估计，我国微硅粉潜在资源每年在40万t以上，但国内不少厂家没有除尘回收装置，大量微硅粉由于没有回收，到处飘逸，严基污染环境。
微硅粉资源的综合开发利用研究始于50年代，到60年代末已有工程应用，国内外经过长期的研究和实践，又将微硅粉应用于水泥、化工、橡胶等领域，取得了较好的效果，并开发了一批性能优异的新产品。
微硅粉的形式
在电炉冶炼工业硅和硅铁时，硅石中的氧化硅被碳质还原剂还原：
微硅粉的形成
实际上，反应不是按上述总反应式进行，而是逐级还原，先生成中间产物：
微硅粉反应式
SiO2在还原过程中生成中间产物SiO、SiC，部分中间产物Sio以气态从炉内逸出，因而造成硅的损失，当SiO蒸发选出料面，在有氧气存在时，就燃烧生成细散的SiO2，并发出白色火焰：
微硅粉形成
此时由于骤冷，温度梯度变化很大，生成的SiO2来不及结晶，而生成粒度极细小的非晶质相SiO2即二氧化硅粉。在实际生产中，硅的挥发损失量与原料粒度、加料方式和操作水平等有关。在正常生产情况下，熔炼1t工业硅生产120～190kg微硅粉，微硅粉中除含炉气氧化和歧化反应生成的SiO2微粉外，还含有10% ～20% 硅石和碳质还原剂等随炉气逸出的细粉。
影响微硅粉生成的因素主要有炉料中焦炭与SiO2比例，炉料电阻率的大小以及炉温等。
